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原子力顯微鏡

全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

產品說明: AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高...

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產品詳情

產品說明: AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享zuobiao樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。 1. 自動化功能 · 高度集成自動化功能追求效率檢測 · 降低檢
 
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享zuobiao樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。
1. 自動化功能
· 高度集成自動化功能追求效率檢測
· 降低檢測中的人為操作誤差
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
· 大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能quan消c掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了新研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。
高精角度測量
· 普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。
· AFM5500M中搭載的掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N(開環控制)時
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM-AFM的共享zuobiao樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2)
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。
通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。
石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。
SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。
今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯用。
技術參數
馬達臺 自動精密馬達臺
*大觀察范圍:100 mm (4英寸)
馬達臺移動范圍:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
*小步距:XY 2 µm、Z 0.04  µm
*大樣品尺寸 直徑:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
樣品重量:2 kg
掃描范圍 200 µm x 200 µm x 15 µm (XY:閉環控制 / Z:感應器監控)
RMS噪音水平* 0.04 nm 以下(高分辨率模式)
復位精度* XY: ≤15 nm(3σ、計量10  μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度)
XY直角度 ±0.5°
BOW* 2 nm/50 µm 以下
檢測方式 激光檢測(低干涉光學系統)
光學顯微鏡 放大倍率:x1 ~ x7
視野范圍:910 µm x 650 µm ~ 130 µm x 90 µm
顯示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸顯示器)
減震臺 臺式主動減震臺 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、約28 kg
防音罩 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
大小?重量 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、約 90 kg

* 參數與設備配置及放置環境相關。
AFM5500M zhuan用原子力顯微鏡工作站
OS Windows7
RealTune®II 自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
操作畫面 操作導航功能、多窗口顯示功能(測試/分析)、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能
X, Y, Z掃描驅動電壓 0~150 V
時時測試(像素點) 4畫面(*大2,048 x 2,048)
2畫面(*大4,096 x 4,096)
長方形掃描 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析軟件 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自動控制功能 自動更換懸臂、自動激光對中
大小?重量 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、約 34 kg
電源 AC100 ~ 240 V ±10% 交流
測試模式 標配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 選配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
選配項:SEM-AFM聯用系統
可適用的日立SEM型號 SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
樣品臺大小 41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
*大樣品尺寸 Φ20 mm x 7 mm
對中精度 ±10 µm (AFM對中精度)

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