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日立高分辨冷場發射掃描電鏡Regulus8100

產品說明: Regulus8100是日立冷場發射掃描電鏡的*新系列,Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優點,進一步提高性能,1kV減速模式下*高分辨率達到了0.8nm,15kV達到0.7nm,高低電壓均可...

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產品詳情


 
Regulus8100是日立冷場發射掃描電鏡系列,Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優點,進一步提高性能,1kV減速模式下*高分辨率達到了0.8nm,15kV達到0.7nm,高低電壓均可滿足高分辨的觀察。

產品特點
1.沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
2.采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*佳性能;
3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV);
4.采用污染小、高真空樣品倉;
5.運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

 
應用領域
2、半導體器件;
4、生物醫學;

技術參數
項目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次電子分辨率 0.7 nm(加速電壓15 kV)0.8 nm(著陸電壓1 kV)*3 0.6 nm(加速電壓 15 kV) 0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
著陸電壓 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
樣品臺 樣品臺控制 3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) 5軸馬達驅動
移動范圍 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再現性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3減速模式下觀察
*4以127 mm × 95 mm底片為基準的倍

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